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慧正資訊：近日，廣東科優(yōu)材料科技有限公司傳來(lái)喜訊，其自主研發(fā)的發(fā)明專利——“一種水溶性丙烯酸光致抗蝕劑”成功獲得國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授權(quán)。這一專利的取得，標(biāo)志著科優(yōu)材料科技在半導(dǎo)體器件及電子元件光刻工藝領(lǐng)域取得了重要突破，也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和市場(chǎng)拓展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
本專利一種水溶性丙烯酸光致抗蝕劑，用于半導(dǎo)體器件及電子元件光刻工藝過(guò)程中的加工。本光致抗蝕劑采用改性丙烯酸類(lèi)四元共聚物樹(shù)脂做為其中的樹(shù)脂組份，其中第一單體為含有鹵素的苯乙烯類(lèi)衍生物，第二單體為N- 羥基- 5- 降冰片烯- 2，3- 二甲酰亞胺類(lèi)衍生物，第三單體為改性苯乙烯類(lèi)化合物，第四單體為(甲基)丙烯酸。
本發(fā)明的交聯(lián)網(wǎng)狀立體結(jié)構(gòu)使得本發(fā)明所公開(kāi)的水溶性丙烯酸光致抗蝕劑保持水溶性的基礎(chǔ)上，提供了優(yōu)秀的抗刻蝕性。
科優(yōu)材料科技自成立以來(lái)，始終堅(jiān)持以研發(fā)為核心、市場(chǎng)為導(dǎo)向、質(zhì)量為生命的經(jīng)營(yíng)理念，致力于開(kāi)發(fā)更環(huán)保、更高性能的產(chǎn)品。該專利的成功獲取將進(jìn)一步增強(qiáng)科優(yōu)材料在上下游產(chǎn)業(yè)鏈中的競(jìng)爭(zhēng)力。面對(duì)未來(lái)，科優(yōu)材料將繼續(xù)秉承“科技創(chuàng)造優(yōu)品，品質(zhì)鑄就輝煌”的宗旨，以新材料技術(shù)頂端為目標(biāo)，不斷加強(qiáng)技術(shù)儲(chǔ)備和市場(chǎng)敏銳度，致力于將更多創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際產(chǎn)品，推動(dòng)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。同時(shí)，公司也將積極響應(yīng)國(guó)家環(huán)保政策，為推動(dòng)綠色制造、實(shí)現(xiàn)碳達(dá)峰碳中和目標(biāo)貢獻(xiàn)自己的力量。
此次水溶性丙烯酸光致抗蝕劑專利的獲得，是科優(yōu)材料科技發(fā)展歷程中的一個(gè)重要里程碑。期待科優(yōu)材料在未來(lái)能夠繼續(xù)保持創(chuàng)新活力，為材料科技領(lǐng)域帶來(lái)更多驚喜和突破。
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