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慧正資訊，高性能涂層產品供應商日本東洋碳素株式會社（TOYO TANSO）在2月16日宣布，將投資約70億日元增加碳化硅（SiC）和碳化鉭（Tac）涂層石墨產品的產能，以滿足客戶需求。據官網公告顯示，此次投資與2023年相比較，將使SiC涂層產能提高近3倍，TaC涂層產能提高近6倍，運行周期預計在2025年至2026年。
實際上，早在2023年4月，東洋碳素就宣布進行資本投資增加TaC涂層石墨產品的產能。據悉，東洋碳素計劃在日本大野原生產技術中心擴建TaC涂層石墨產品的生產設施，將生產能力提升至目前水平的一倍以上，投產時間預計為2025年。
SiC涂層及TaC涂層主要用于半導體產業的諸多生產環節。SiC涂層石墨盤是目前單晶硅外延生長用和氮化鎵（GaN）外延生長用最好的基座之一，是外延爐的核心部件。TaC涂層石墨比裸石墨或SiC涂層石墨具有更好的耐化學腐蝕性能，可在2600℃高溫下穩定使用，與眾多金屬元素不反應，是第三代半導體單晶生長和晶圓刻蝕場景中性能最好的涂層，采用TaC涂層能夠解決晶體邊緣缺陷問題，提高晶體生長質量，是“長快、長厚、長大”的核心技術方向之一。
半導體涂層材料是各類芯片上道工藝的關鍵耗材，隨著半導體產業的發展，市場需求增大，SiC涂層和TaC涂層石墨產品將得到進一步發展。2022年全球TaC涂層市場規模大約為884.3百萬美元，預計2029年達到1208.6百萬美元，2023-2029期間年復合增長率（CAGR）為4.6%。
目前TaC涂層處理方案分為兩種：1.石墨器件+TaC涂層加工；2.單獨處理涂層(加工)。由于該涂層是通過CVD沉積、PVD/燒結的方法在石墨器件上形成的一種“保護層”。
根據慧正資訊的了解，TaC涂層核心廠商包括邁圖和東海碳素株式會社等，前兩大廠商占有全球超過98%的份額。美國是全球最大的石墨碳化鉭涂層生產地區，占有超過95%的市場份額，之后是日本。按產品類型拆分，化學氣相沉積 (CVD)是最大的細分市場，市場份額超過80%，最大的應用市場是SiC單晶生長。
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