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瓦克完成高純氯化氫裝置擴建 增強半導體蝕刻和清洗服務能力

2023年08月02日10:28 來源:慧正資訊

慧正資訊,8月1日,瓦克化學股份有限公司宣布,在博格豪森生產基地完成高純氯化氫生產擴建工程,新設備于7月中投入使用,大幅度地提高了生產基地的總產能。新增產量的客戶來自半導體工業,他們在生產中需要使用高純氯化氫作為蝕刻及清洗介質。瓦克化學集團為新設備投資數千萬歐元,擴建產能,加強面向半導體工業的特種產品組合。

氯化氫在化學工業中用途廣泛。這種反應氣體可用來將低能量原料轉變為供下游生產使用的反應性中間體,例如,瓦克使用氯化氫為太陽能及半導體工業生產有機硅、氣相二氧化硅和多晶硅。

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這種無色的水溶性氣體也是半導體工業的重要加工助劑。在那里,氯化氫被用于蝕刻超純硅片和清洗設備部件。為避免污染,這些介質必須高度純凈。“近年來,由于成本和質量原因,許多競爭對手放棄了氯化氫生產。這種情況,再加上市場對半導體組件的需求不斷增長,致使高純氯化氫目前供不應求。”瓦克董事會成員柯思騰博士(Dr. Christian Kirsten)介紹說。

瓦克是歐洲很少幾家能夠以所需質量和足夠數量提供氯化氫的廠商之一。瓦克為博格豪森生產基地最近完成的包括基礎設施在內的產能擴建工程投資數千萬歐元。柯思騰博士指出:“瓦克的電子化學品業務發展勢頭非常喜人,增長前景廣闊。數字化轉型不僅會使電腦芯片需求不斷增長,對高純氯化氫這樣的工藝介質的需求同樣如此。隨著產能擴建,我們也能夠在今后繼續滿足市場所需。”

瓦克用自有施特滕鹽礦開采的巖鹽生產氯化氫,那里出產的巖鹽的成分和純度在此尤為適用。瓦克有機硅業務部門總裁Thomas Koini博士介紹說:“半導體級氯化氫目前為止的純凈度基準值為99.9979%,而瓦克氯化氫的純度達到了99.9995%,比市場上其它任何氯化氫的純度都要高得多,也能在未來滿足芯片行業對純度的要求。”

除氯化氫外,瓦克這家化學集團還為半導體工業生產其它專用化學品,產品組合包括超純硅片涂層用前驅物,以及作為磨料供化學機械拋光劑(CMP slurry)使用的氣相二氧化硅等。此類產品的客戶主要是一些為半導體生產商提供加工助劑和其它專用化學品的國際氣體供應商。 瓦克在博格豪森生產基地增建一條高純氯化氫生產線:這種化學品是半導體工業的重要加工助劑。

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