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東岳集團新建三氟甲烷和八氟環丁烷 進入含氟特氣領域

2023年03月29日10:53 來源:慧正資訊

慧正資訊,3月27日,山東東岳化工有限公司40噸/年含氟電子特氣材料項目受理公示,項目主要主要建設40t/a含氟電子特氣材料生產裝置一套,包括年產20噸/年三氟甲烷(電子級)、20噸/年八氟環丁烷(電子級),計劃投資1500萬,預計2023年10月投產。

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這一消息也意味著,東岳集團正式進入含氟特氣領域。電子級三氟甲烷、八氟環丁烷是眾多含氟電子特氣材料之一,是人工智能芯片、超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造的關鍵基礎材料,國內對含氟電子特種氣體工業化生產技術存在迫切需求,由于受歐美日韓等發達國家技術嚴密封鎖而導致含氟電子特種氣體制備成為一種“卡脖子”技術,應用于28nm以下的高端芯片和人工智能芯片制造的關鍵材料含氟電子特種氣體產品都只能進口,因此,急需通過科技攻關開發出高純超凈、適用性強的含氟電子特種氣體系列產品,對于促進我國人工智能芯片國產化有著重要意義。

電子級三氟甲烷

三氟甲烷性質穩定,可溶于水,可溶于丙酮、無水乙醚、 甲醇等部分有機 溶劑,不導電,不可燃燒,但在高溫條件下可受熱分解,分解產物為有毒氟化氫氣體。
由于ODP為零,R23可取代氯氟烴(CFC)例如CFC-13用作低溫 制冷劑、滅火劑,三氟甲烷也可用作超臨界萃取溶劑,以及有機合成中間體,用來制取四氟 乙烯等產品。在電子產業中,三氟甲烷可用作等離子體化學蝕刻劑,在 二氧化硅膜刻蝕方面具有速度快、選擇性優等特點。三氟甲烷雖然不破壞臭氧層,但其GWP高達14800,在大氣層中的存留時間長達264年,是一種強溫室氣體,自《蒙特利爾議定書》和《京都議定書》簽訂后,它的應用逐漸減少。
隨著科技的發展和半導體制造工藝的提升,集成電路、半導體器件、液晶顯示器等的制造精度要求越來越高,電子氣體的重要性日趨顯著。
三氟甲烷作為一種新型電子氣體,在半導體制造領域主要用于二氧化硅和氮化硅薄膜的等離子蝕刻,其純度對半導體元件的質量、集成度、成品率影響很大,從根本上制約著電子器件的精確性和準確性。

目前,國內生產高純三氟甲烷的企業較少,有一些企業正處于籌劃或研發階段,主要分為兩類:一類為擁有高純氣體生產經驗并以氣體為主業的氣體公司;另外一類是氟化工企業,他們利用具有合成技術或副產三氟甲烷的優勢進行提純研究,希望以此為切入口進入高端含氟氣體市場。

盡管國內氟化工企業擁有原料優勢,但由于純度99.999%以上高純氣體與工業級氣體的生產技術有著很大的區別,國產三氟甲烷的純度與進口產品還有一定的差距,因此,國內電子級三氟甲烷幾乎全部來自于外資氣體公司。

電子級八氟環丁烷

八氟環丁烷,又名全氟環丁烷,化學性質穩定,無毒且無臭氧影響,溫室效應低,是一種綠色環保型特種氣體,主要應用于高壓絕緣、超大規模集成電路蝕刻劑、代替氯氟烴的混合制冷劑、 氣溶膠、清洗劑(電子工業用)、噴霧劑、熱泵工作流體等。隨著蒙特利爾協議的實施和電子行業的飛速增長,八氟環丁烷的作用日趨重要,使用量也在逐年上升,是一種重要的特種含氟氣體。

近年來,在制冷、發泡材料、電子電力、化工等領域持續發展的驅動下,中國相關企業加大八氟環丁烷產能布局,尤其是半導體、顯示面板等電子產業的快速發展及其所展現出的良好市場前景,刺激華特氣體、德爾科技、綠菱氣體等企業積極布局高純八氟環丁烷產業,成為推動中國八氟環丁烷供給量增長的重要動力。

但是,目前國內能生產高純度八氟環丁烷的廠家不多,在合成和提純技術方面進展較慢,與國外氣體廠家相比還存在較大差距,因此國內相關企業應繼續加大研發力度,優化生產工藝,提高產品等級,滿足未來市場需求。

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