COPYRIGHT©廣州慧正云科技有限公司 www.hzeyun.com 粵ICP備18136962號 增值電信業(yè)務(wù)經(jīng)營許可證:粵B2-20201000
慧正資訊：特殊化學(xué)品公司朗盛升級了其用于電子行業(yè)除氧應(yīng)用的Lewatit K 7333離子交換樹脂。現(xiàn)在，改進的聚合物基質(zhì)與改性的配方相結(jié)合，可以生產(chǎn)出純度最高的摻鈀強堿性陰離子交換劑，該產(chǎn)品可用于生產(chǎn)半導(dǎo)體制造和晶圓拋光工藝所需的超純水（UPW）。在這一領(lǐng)域，只能使用經(jīng)過特殊凈化的離子交換劑來生產(chǎn)純度極高的水。
作為離子交換樹脂的領(lǐng)先制造商之一，朗盛致力于通過這種新型產(chǎn)品在電子行業(yè)獲得更多客戶，并鞏固其市場地位。
朗盛在位于勒沃庫森的分析實驗室里進行離子分析。圖片：朗盛化學(xué)
面向開拓性應(yīng)用升級成功產(chǎn)品
近年來，離子交換劑已成功用于催化去除工藝水中的氧氣。“含氧水流經(jīng)載有Lewatit K 7333的過濾器。在逆流中，氫氣通過過濾器。摻鈀離子交換劑在這里起到催化劑的作用。在‘冷燃燒’過程中，氫氣和氧氣反應(yīng)生成水。”朗盛液體凈化技術(shù)（LPT）業(yè)務(wù)部技術(shù)營銷經(jīng)理Hans-Jürgen Wedemeyer介紹道。
Lewatit K 7333的另一個應(yīng)用是在沒有氫氣的情況下催化去除H2O2（過氧化氫）。這項技術(shù)越來越多地用于生產(chǎn)超純水。以這種方式生產(chǎn)的質(zhì)量更高的超純水目前的需求量比較大，因為對于半導(dǎo)體行業(yè)中越來越小的模塊間隔，殘留離子含量被限定在ppt/ppq范圍內(nèi)。理想情況下，TOC（總有機碳）含量應(yīng)處于檢測限。“隨著模塊的增強和完善，對水的純度要求越來越嚴格，這意味著大幅減少納米范圍內(nèi)的顆粒數(shù)量越來越重要。”Wedemeyer說道。
為了達到這些非常低的值，需要使用特殊的紫外燈。這種燈可以氧化水中的任何殘留有機物，產(chǎn)生CO2。然后，離子交換劑吸收CO2，將其轉(zhuǎn)化為碳酸氫鹽。紫外燈處理過程中的一個副作用是會形成過氧化氫（輻解），損壞下游的離子交換劑。這將增加TOC，并在下游離子交換劑中形成顆粒。摻鈀Lewatit K 7333可將輻解形成的過氧化氫降至低ppt范圍，離子交換劑本身只會造成非常小的TOC、顆粒或殘留離子污染。
“這項技術(shù)已經(jīng)用于許多新工廠，并且正在現(xiàn)有工廠中進行改進。因此，我們預(yù)計對Lewatit K 7333離子交換劑的需求量會增加，以便我們滿足半導(dǎo)體行業(yè)對水純度日益嚴格的要求。”Wedemeyer說道。
特殊化學(xué)品公司朗盛為電子行業(yè)的濕化學(xué)法提供離子交換劑，其中包括用于生產(chǎn)超純水的離子交換劑。在微電子元件和納米電子元件生產(chǎn)中，對于光刻或晶圓加工涉及的復(fù)雜流程而言，超純水是不可或缺的成分。圖片：朗盛化學(xué)
電子行業(yè)濕化學(xué)法必不可少的物質(zhì)——離子交換劑
在微電子元件和納米電子元件生產(chǎn)中，對于光刻涉及的晶圓加工或復(fù)雜的濕化學(xué)法而言，超純水是不可或缺的成分。上述工藝用于制造半導(dǎo)體組件，例如計算機處理器、存儲芯片、發(fā)光二極管（LED）、液晶（LC）和LED顯示器以及光伏模塊。超純水還用于微系統(tǒng)技術(shù)，該技術(shù)用于制造和加工微泵、微電機和微閥所需的微型機械部件。超純水是防止或去除精密結(jié)構(gòu)中小至納米級的沉積物或雜質(zhì)的重要先決條件，這些物質(zhì)如果不去除，會導(dǎo)致生產(chǎn)故障和極高的廢品率。“隨著電子元件的尺寸越來越小，對超純水的質(zhì)量要求也在不斷提升。”Wedemeyer表示。
朗盛位于勒沃庫森的一家生產(chǎn)廠里的超純水生產(chǎn)設(shè)施。圖片：朗盛化學(xué)
慧樂居歡迎您關(guān)注中國家居產(chǎn)業(yè)，與我們一起共同討論產(chǎn)業(yè)話題。
投稿報料及媒體合作
E-mail：luning@ibuychem.com
